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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: GV400愛德華干泵維修
簡要描述: 東莞鑰大真空設(shè)備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務(wù)。 維修流程完善,長期備有原廠維修配件,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)!我們將按GV400愛德華干泵維修流程,為客戶保證維修之設(shè)備的質(zhì)量
更新時間: 2024-10-28
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產(chǎn)品介紹

品牌其他品牌供貨周期一周
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子/電池

GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。東莞鑰大真空設(shè)備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務(wù)

GV400愛德華干泵維修流程

(1)擦凈零件,疏通油孔 。

(2)把旋片及彈簧裝入高級轉(zhuǎn)子槽內(nèi)后,把高級轉(zhuǎn)子裝入泵身內(nèi),裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等,用手旋轉(zhuǎn),應(yīng)無滯阻和明顯輕重。

(3)低級轉(zhuǎn)子裝配同上。

(4)裝止回閥葉輪部件,應(yīng)使止回閥平面對準(zhǔn)進(jìn)油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子,油孔應(yīng)時開時閉,調(diào)整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。

(5)裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。

(6)把泵部件、鍵、軸套、電機(jī)裝在支座上。

(7)裝油箱。

(8)插入進(jìn)氣咀、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板,螺釘緊固。

注意:

(1)裝配時,各摩擦面應(yīng)涂上清潔的真空泵油。

(2)記住零件的原裝配位置,可減少跑合時間。

(3)緊固體應(yīng)無松動,緊固時應(yīng)均勻施力。

(4)對磨損零件應(yīng)檢查,并酌情修理或調(diào)換。

(5)總裝結(jié)束后,可以從泵進(jìn)氣口加入少量泵油,然后用手轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動時,手的感覺應(yīng)是阻力均勻,無明顯阻滯現(xiàn)象。

我們將按GV400愛德華干泵維修流程為客戶保證維修之設(shè)備的質(zhì)量

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